群馬大学 曾根研究室

ナノ計測加工技術を用いて高感度バイオセンサや先端デバイスを研究開発しています。

実験装置

計測装置
UHV-STM
図1-1 超高真空走査プローブ顕微鏡(UHV-SPM, ユニソク)
JSPM-4610A
図1-2 超高真空走査プローブ顕微鏡(JSPM-4610A, JEOL; ケルビンフォース対応)
JSPM-5200
図1-3 走査プローブ顕微鏡(JSPM-5200, JEOL; 大気圧、高真空、簡易液中計測対応)
S-2700
図1-4 走査電子顕微鏡(S-2700, 日立製作所)
S-900
図1-5 電界放射型走査電子顕微鏡(S-900, 日立製作所)
S-4000
図1-6 電界放射型走査電子顕微鏡(S-4000, 日立製作所)
AES-SIMS
図1-7 オージェ電子分光/二次イオン質量分析装置(AES-SIMS, 日電アネルバ; 現 キャノンアネルバ)
LEXT OLS3000
図1-8 共焦点レーザ顕微鏡(LEXT OLS3000, OLYMPUS)
prototype cantilever biosensor
図1-9 カンチレバ型バイオセンサ(PM-500A, 東京測器研究所)
2636B_2700J
図1-10 ソースメータ/多チャンネル測定マルチメータ(2636B/2700J, ケースレーインスツルメンツ)
SNOM
図1-11 近接場光学顕微鏡(SNOM, 自作)
MF-UA1010
図1-12 測定顕微鏡(MF-UA1010, Mitutoyo)

加工装置
SMI500
図2-1 集束イオンビーム装置(SMI500, SIIナノテクノロジ; 現 日立ハイテクサイエンス)
JSM-6500F_Beam Draw
図2-2 電子線描画装置(JSM-6500F/Beam Draw, JEOL/Tokyo Technology)
JFC-2300
図2-3 高周波スパッタリング装置(ファインコータ; JFC-2300, JEOL)
SC-708
図2-4 クイックコータ装置(SC-708, サンユー電子)
SEDE-GEHL
図2-5 ソフトプラズマエッチング装置(SEDE-GEHL, メイワフォーシス)
PEM-800
図2-6 両面マスクアライナ(PEM-800, ユニオン光学)
IR298
図2-7 赤外線加熱炉(IR298, サーモ理工)
FT-02VAC-50
図2-8 卓上型精密管状雰囲気電気炉(FT-02VAC-50, フルテック)
SRM-20
図2-9 3D加工機(SRM-20, Roland DG)
daVinci_Jr_2_Mix
図2-10 フィラメント式3Dプリンタ(daVinci Jr. 2.0 Mix, XYZプリンティング)
daVinci_Jr_ProX+
図2-11 フィラメント式3Dプリンタ(daVinci_Jr_ProX+, XYZプリンティング)
Form3+
図2-12 光造形式3Dプリンタ(Form3+, Formlabs)

その他
APM-50DR
図3-1 インキュベータ(APM-50DR, アステック)
LDS120
図3-2 ドラフトチャンバ(LDS120, ヤマト科学)
WG250
図3-3 純粋製造装置(WG250, ヤマト科学)