実験装置
◆ | 計測装置 |
| 図1-1 超高真空走査プローブ顕微鏡(UHV-SPM, ユニソク)
|
図1-2 超高真空走査プローブ顕微鏡(JSPM-4610A, JEOL; ケルビンフォース対応)
|
図1-3 走査プローブ顕微鏡(JSPM-5200, JEOL; 大気圧、高真空、簡易液中計測対応)
|
| 図1-4 走査電子顕微鏡(S-2700, 日立製作所)
|
図1-5 電界放射型走査電子顕微鏡(S-900, 日立製作所)
|
図1-6 電界放射型走査電子顕微鏡(S-4000, 日立製作所)
|
| 図1-7 オージェ電子分光/二次イオン質量分析装置(AES-SIMS, 日電アネルバ; 現 キャノンアネルバ)
|
図1-8 共焦点レーザ顕微鏡(LEXT OLS3000, OLYMPUS)
|
図1-9 カンチレバ型バイオセンサ(PM-500A, 東京測器研究所)
|
| 図1-10 ソースメータ/多チャンネル測定マルチメータ(2636B/2700J, ケースレーインスツルメンツ)
|
図1-11 近接場光学顕微鏡(SNOM, 自作)
|
図1-12 測定顕微鏡(MF-UA1010, Mitutoyo)
|
◆ | 加工装置 |
| 図2-1 集束イオンビーム装置(SMI500, SIIナノテクノロジ; 現 日立ハイテクサイエンス)
|
図2-2 電子線描画装置(JSM-6500F/Beam Draw, JEOL/Tokyo Technology)
|
図2-3 高周波スパッタリング装置(ファインコータ; JFC-2300, JEOL)
|
| 図2-4 クイックコータ装置(SC-708, サンユー電子)
|
図2-5 ソフトプラズマエッチング装置(SEDE-GEHL, メイワフォーシス)
|
図2-6 両面マスクアライナ(PEM-800, ユニオン光学)
|
| 図2-7 赤外線加熱炉(IR298, サーモ理工)
|
図2-8 卓上型精密管状雰囲気電気炉(FT-02VAC-50, フルテック)
|
図2-9 3D加工機(SRM-20, Roland DG)
|
| 図2-10 フィラメント式3Dプリンタ(daVinci Jr. 2.0 Mix, XYZプリンティング)
|
図2-11 フィラメント式3Dプリンタ(daVinci_Jr_ProX+, XYZプリンティング)
|
図2-12 光造形式3Dプリンタ(Form3+, Formlabs)
|
◆ | その他 |
| 図3-1 インキュベータ(APM-50DR, アステック)
|
図3-2 ドラフトチャンバ(LDS120, ヤマト科学)
|
図3-3 純粋製造装置(WG250, ヤマト科学)
|